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微电子洁净厂房特点和火灾危险性

来源：洲上净化浏览：发布日期：2019-05-05 13:45:59【大中小】

微电子工业类洁净厂房的特殊工艺决定了它具有以下特点和火灾危险性。

（一）厂房内大量存在用特殊的板材设置的洁净室。洁净室是个相对密闭空间，有的还是无窗密闭体。一般不设置开启通风窗，密闭空间一旦发生火灾，热量难于散发，产生大量烟气，给人员疏散和消防队的扑救造成较大困难。

（二）厂房对工艺加工设备精度和自动化程度要求很高，因而建筑以及生产设备投资十分昂贵，一旦发生火灾，会造成严重的经济损失。

（三）厂房操作工艺大多需使用易燃、易爆液体或气体。一旦有液体或气体泄漏，就有可能引发火灾、爆炸。

（四）洁净室的电气设备较多，线路大多为暗敷，检修比较困难，有了故障及火灾时不易发现。

（五）厂房内有许多管道（如通风管、电缆管）跨楼层相通，发生火灾，火势会顺着管道迅速蔓延。

（六）厂房内的走廊、通道管，由于工艺的特殊要求，都布置得迂回曲折，人员疏散困难。

（七）室内装修使用了一些高分子合成材料，这些材料在燃烧时产生浓烟，散发毒气，有的燃烧速度极快。

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