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东莞无尘车间的温湿度主要根据你的加工工艺要求决定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。 随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。 例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数的差越来越小。 直径100 um的硅片，温度上升1度后，会引起0.24um的线膨胀。 因此，需要0.1度的恒温。 另外，湿度值一般要求较低。 因为人出汗后，产品有污染。 特别是在怕钠的半导体工厂，这种东莞无尘车间不能超过25度。 湿度过高问题就多了。 相对湿度超过55%时，冷却水管壁发生结露，如果在精密装置和电路中发生，会引起各种事故。 相对湿度为50%，容易生锈。
但是，在大部分东莞无尘车间中，为了防止来自外部的污染侵入，需要使内部的压力(静压)高于外部的压力)静压。 压力差的维持一般应满足以下原则。
1、清洁度等级高的空间的压力比相邻清洁度等级低的空间的压力高。
2、连接洁净室之间的门可以开在洁净度高的房间里。
3、洁净空间的压力应高于非洁净空间的压力。
压力差的维持依赖于新风量，该新风量需要能够通过该压力差补偿从间隙泄漏的风量。 因此，压力差的物理含义是风量泄漏(或渗透)到洁净室的各种间隙时的阻力。
关于湍流东莞无尘车间，主要为了通过空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，主要使用换气次数的概念而不是速度的概念，但对于东莞无尘车间室内气流速度也有以下要求。
1、送风口出口的气流速度不要太大。 与单纯的空调室相比，要求速度衰减快，扩散角度大。
2、穿过水平面的气流速度(例如侧送时的回流速度)请勿过大，以免吹出表面的微粒返回气流，引起再次污染。 此速度通常请勿使0.2m/s大幅干燥。
