集成电路
无尘车间是为了满意半导体制作工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC操控等都有必定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制作无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度操控精度高级特色。下面洲上净化给我们扼要介绍下集成电路无尘车间施工要求。如下:
1、在小规模低等级要求的洁净室车间规划中被广泛应用,对于大面积高级级的洁净车间则存在运转本钱过高、占用空间过大等缺陷。
2、规划可以满意集成电路制作无尘车间大面积高级级的要求,运转本钱较高,而且洁净室风速、风量调理困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
3、FFU循环系统不仅节省运转空间、洁净度安全性高、运转本钱低,操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,都能很好地满意半导体制作的需求,在半导体制作业FFU循环系统逐步成为最主要的净化规划方案。
4、整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅佐层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅佐层,静压层相对于工艺层为负压。
以上无尘室厂家-洲上净化给大家带来的集成电路无尘车间施工要求,希望对大家有所帮助。广东洲上科技有限公司一家专业从事电子无尘车间、食品无菌车间、 GMP车间、医疗器械车间、实验室、恒温恒湿中央空调等项目的设计、施工、 安装、调试为一体的高科技民营企业公司一直致力于洁净技术行业的研发和应用。