洁净室(无尘室)清洁

     人们常常会听到这样的说法：“洁净室中的污染又看不见，没什么好清洁的。”“清洁前与清洁后的洁净室都一样干净，所以不需要清洁”。这两种说法反映了对洁净室清洁维护工作的一般态度。洁净室并不仅仅是工业生产活动的一个一般的组成部分，洁净室就是而且也应当被看作是整个生产系统的中心部分，因为一系列关键工艺步骤必须在其中进行。那么究竟有没有必要对洁净室进行定期的清洁维护呢？

在讲到清洁维护的重要性之前，我们先在认识一下洁净室中的四大污染来源：

★ 洁净室中的工具设备在运转的过程中会向洁净室空间扩散粒子.

★ 洁净室中的产品也会向洁净室空间扩散粒子.

★ 洁净室中的设施，例如地面、墙面、天花板等，一刻不停地扩散着粒子.

★ 洁净室中的人员是污染的主要来源，洁净室中的污染有80%都来自于人员散发的粒子.

     既然洁净室有这么多污染来源，为什么洁净室“看上去”还那么干净呢？那是因为我们肉眼只能看到粒径大于50um的尘粒，需要用显微镜才能看到小于50um的尘粒。（如下图所示）而对于许多精密制造业来说，例如芯片制造业，任何大于0.1um的尘粒都会对产品造成危害。此时，就需要通过洁净室和污染控制技术来达到合格的生产环境。

     我们知道，洁净室可以通过送风系统达到自净的目的，但是通过循环风系统只能去除一部分污染，仍会有大量的污染物在重力作用和布朗运动的作用下造成堆积。堆积在表面的污染物并不是静止不动的，污染物会通过表面直接或通过空气和人员等媒介间接地与产品发生“接触”，这种“接触”就会对产品造成污染，导致产品不良。

     此时，对洁净室进行定期的清洁维护就显得非常有必要了。我们进行清洁维护的目的首先在于去除污染，已达到洁净室设计建造时预期的洁净度，但最终还是为了保护我们的产品不受污染，提高产品的优率。因此，我们可以将洁净室清洁维护定义为：“从洁净室内或洁净区内重要性各不相同（对洁净度而言）的表面，释放出所有不希望的污染物，并把它们收集起来清除掉。”

     我们可以把清洁工作分为两大范畴，预防性清洁和主动清洁。预防性清洁就是，防止产生污染物及防止外部环境的污染物传入到洁净室环境，或者使其达到最小；防止污染物在关键区域中扩散。为主动清洁所采取的全部准备措施，也属于预防性清洁。而主动清洁则是将污染物从关键区域中释放出来。这里，我们重点讲一下主动清洁的方法和原则。

     根据所使用的工具不同，主动清洁的方法可以分为干法和湿法。干法就是使用真空吸尘器，或者是干的工具或粘着方法进行清洁。使用干法只能去除部分尘粒，粒子越小，其附着在表面的力就越大，并且粒子附着在表面的时间越长，就越难以将其清除。湿法清洁是对干法的有效补充。附着在表面的较小粒子，很难用真空吸尘器吸走，因为真空吸尘器达不到清除粒子所需的风速。此时，使用无尘拖把或无尘布配合清洁溶剂进行清洁就能有效地去除污染。同时，为了避免交叉污染，清洁时还应遵循从上到下，从里到外的清洁原则，并采用直线方向部分重叠的擦拭方法。

     总之，定期对洁净室进行清洁维护对于洁净室性能的维持有着重要的意义。作为洁净室工作者，一定要重视这项看似简单的工作。

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