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1、送风量与排风量：如果是紊流无尘车间，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流无尘车间，则要测量其风速。
2、各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：
（1）各区间的压差正确；
（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3、过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：
（1）损坏了的过滤器；
（2）过滤器与其外框间的缝隙；
（3）过滤器装置的其他部位而侵入室内。
4、隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入无尘车间。
5、室内气流控制：气流控制测试的类型要依无尘车间的气流模式——是紊流还是单向流而定。若无尘车间气流为紊流，则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流无尘车间，则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
6、悬浮粒子浓度和微生物浓度：如果上述这些测试满足要求，则最后对粒子浓度和微生物浓度（需要时）进行测量，以便验明其符合无尘车间设计的技术条件。
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