空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入无尘车间,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘车间等级1,000-100,000级。
无尘车间乱流式(Turbulent Flow)优缺点
优点:构造简单、系统建造成本低,无尘车间之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
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